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美國(guó)SRS CIS系列封閉離子源式質(zhì)譜儀 CIS系列封閉離子源式質(zhì)譜儀 ? 100，200 和300amu 系統(tǒng) ? 1 ppm 的檢測(cè)

美國(guó)SRS PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng) 主要應(yīng)用：真空在線檢測(cè)；高真空成份分析；MOCVD 等在線過(guò)程監(jiān)控；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過(guò)程檢測(cè)等等

美國(guó)SRS QMS系列四極質(zhì)譜儀 QMS系列四極質(zhì)譜儀 一個(gè)高效，低成本的寬范圍的質(zhì)譜分析儀。廣泛的有效應(yīng)用，具有高性價(jià)比的解決方案，這個(gè)質(zhì)譜分析簡(jiǎn)化了在線過(guò)程檢測(cè)和氣體分析，泄漏檢測(cè)和故障診斷分析等實(shí)驗(yàn)。

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美國(guó)SRS RGA系列殘余氣體分析儀 RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。